Komplexe Produktionssysteme in der Mikroproduktion, zur Herstellung miniaturisierter Systeme, Baugruppen und Einzelkomponenten, sind besondere produktionstechnische Systeme. Wie Hesselbach [1] feststellt, umfasst dabei die Mikroproduktionstechnik in ihrer Gesamtheit alle einzelnen, zum Teil hochspezialisierten Fertigungsverfahren. Kiesewetter [2] weißt zu dem darauf hin, dass es sich hierbei nicht einfach um eine Art „verkleinerten Maschinenbau“ handelt. Ganze Prozessketten oder zumindest größere, zusammenhängende Ausschnitte, beispielsweise zur Herstellung miniaturisierter, hauptsächlich mechanischer Baugruppen, werden in der Regel nicht betrachtet. Dieser Beitrag widmet sich Fragestellungen zu Planung und zum Betrieb von Prozessketten zur Herstellung solcher Baugruppen.