Die Entwicklung und Produktion mikromechanischer Bauteile ist mit vielfältigen komplexen Herausforderungen verknüpft. Durch die kleinen Bauteilabmessungen, die nahe an derzeit in der Fertigung realisierbaren Toleranzen liegen, kann es beim Zusammenwirken mikromechanischer Bauteile infolge von Gestaltabweichungen zu Funktionsstörungen kommen. Am IPEK - Institut für Produktentwicklung Karlsruhe wird eine Qualitätssicherungsstrategie für Mikroverzahnungen entwickelt, die Aussagen über die Auswirkungen von Gestaltabweichungen auf den Funktionszusammenhang mikromechanischer Bauteile zulässt. Dabei können Formabweichungen einzelner Mikrozahnräder derart bestimmt werden, dass geeignete Zahnradpaarungen zur Wahrung einer angestrebten Funktionserfüllung gefunden werden können.
