Im Rahmen von Untersuchungen zum internationalen Stand der Forschung und der Technik in der Mikroproduktionstechnik [1, 2] wurde festgestellt, dass sowohl bei der Fertigung einzelner Funktionsbaugruppen als auch kompletter Produkte zwischen zwei Entwicklungslinien unterschieden werden muss. Zum einen wurden die klassischen feinwerktechnischen Verfahren [3] identifiziert, die aus dem Bereich der Fertigungsverfahren im Makrobereich stammen, wie in der DIN 8580 [4] beschrieben, zum anderen mikrotechnische Verfahren der Mikrosystemtechnik (MST) [3]. Eine besondere Herausforderung im Rahmen der allgemeinen Miniaturisierung ist in diesem Zusammenhang die begleitende Funktionsintegration [1] der Bauteile und die Prozessmodularisierung bzw. -integration der Fertigungsverfahren. Dieses stellt sowohl die Produkt- als auch die Prozessentwicklung zur Herstellung von mikrotechnischen Funktionsbaugruppen mit weiterentwickelten feinwerktechnischen Verfahren vor enorme Herausforderungen. Dieser ...
