Durch den kontinuierlichen Trend zur Miniaturisierung eröffnen sich sowohl für die Industrie als auch für die Forschung neue Herausforderungen bei der Qualitätsprüfung. Um Produkte, Werkzeuge und Materialien im Mikrobereich herzustellen, müssen Technologien aus der Makro- auf die Mikroebene herunterskaliert werden. Dabei kommt es zu unvorhergesehenem Prozess- und Werkstückverhalten, sogenannten Größeneffekten. Das betrifft unter anderem die zuverlässige Durchführung von Qualitätsprüfungen, da mikroskopische Lösungen für Toleranzbereiche von bis zu einem Mikrometer benötigt werden. Mit der vergrößerten Darstellung kommt es zu einer starken Verringerung der Tiefenschärfe sowie einer Verkleinerung der messbaren Fläche. Dadurch ergeben sich erhöhte Anforderungen an die exakte Positionierung der Bauteile sowie teilweise die Notwendigkeit zur Durchführung von mehreren Messungen mit unterschiedlichen Fokusebenen, um insbesondere bei Kavitäten eine durchgehende Prüfung ...
