Die neuesten Entwicklungen in der Nanotechnologie dürfen nicht darüber hinwegtäuschen, dass noch viele Herausforderungen aus dem Bereich der Mikrosystemtechnik (MST) ungelöst sind. Neue Anwendungen stellen immer höhere Ansprüche an mikrosstrukturierte Komponenten. Der Markt für entsprechende Systeme ist nach wie vor einer der dynamischsten unserer Zeit und wird in den nächsten Jahren noch deutlich wachsen. So wird eine Entwicklung des weltweiten Umsatzes von 3,9 Mrd. US-$ (2002) auf 8,3 Mrd. US-$ (2007) erwartet [1].
