Mikrobauteile werden für zahlreiche Anwendungen durch Mikrofräsen oder Mikroschleifen gefertigt. Für diese mechanischen Verfahren werden heutzutage jedoch i.d.R. große Bearbeitungsmaschinen verwendet, deren Abmessungen die geringe Bauteilgröße um ein Vielfaches übersteigen. Dieser Beitrag zeigt Möglichkeiten zur Kombination von Verfahren der Mikro- und Ultrapräzisionsbearbeitung für die Herstellung von Mikrobauteilen mit optischen Funktionsflächen und gibt einen Überblick über Anforderungen und Potenziale der mechanischen Mikrofertigung. Neuste Entwicklungen, die auf eine Reduzierung der Maschinengröße abzielen, werden am Beispiel eines Mikroschleifmoduls aufgezeigt, das mit weiteren Komponenten zu einer Desktop-Maschine kombiniert werden kann.
