Im Bereich der Mikrosysteme ist der Trend zu verzeichnen, dass die Entwicklung zu immer kleineren und komplexeren Mikrosystemen geht. Eine große Herausforderung der Mikroproduktion liegt in der Bedingung, Mikrobauteile und Mikrostrukturen aus unterschiedlichsten Materialien mit Strukturabmessungen von wenigen Mikrometer zu fertigen. Hochfeste Stahlwerkstoffe, die immer häufiger im Bereich des Mikroformenbaus eingesetzt werden, sind hierbei eine besondere Herausforderung. Das Mikroschleifen eignet sich sehr gut für diese Aufgabe. Im folgenden Beitrag soll ein Überblick über den aktuellen technologischen Stand des Mikroschleifens von hochfesten Stahlwerkstoffen aufgezeigt werden.
