Schnelle Ionen, beschleunigt aus so genannten Breitstrahl-Ionenquellen, sind zum unverzichtbaren Werkzeug zur ultrapräzisen Bearbeitung von Oberflächen geworden. Die treibende Kraft dafür sind höchste Anforderungen an die Oberflächenform und minimale Rauheit von Komponenten in modernen Hochtechnologien, wie der Hochleistungsoptik mit Anwendungsfeldern in der Lithographie-, Laser- und Röntgenoptik sowie der optischen Satellitenkommunikation oder auch in hoch integrierten elektronischen Prozessoren und Speichern oder Oberflächenwellenfiltern. Fertigungstoleranzen von unter einem Nanometer müssen erreicht werden. Nicht zuletzt bieten erst in jüngster Zeit entdeckte und intensiv untersuchte physikalische Effekte der Ionenbestrahlung zur Glättung von Oberflächen und nanometrischen Strukturen neue Ansätze für technologische Entwicklungen. Am Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. in Leipzig werden diese Prozesse untersucht und Ionenstrahltechnologien und ...
