Halbleiterfertigung

Zur effizienten Steuerung der Anlagen in der Halbleiterfertigung werden zunehmen ERP-Systeme eingesetzt. Deswegen wird zunächst der Stand der Technik einschließlich möglicher zukünftiger Entwicklungen diskutiert. Als Folge wird ein neuartiger Einsatz der SAP NetWeaver Plattform zur Ansteuerung von Halbleiter Fertigungsautomaten vorgeschlagen und seine Evaluierung sowie Erstellung eines Prototyps wird beschrieben.

Die steigende Anzahl kundenspezifischer Produkte bewirkt die Zunahme der Fertigungsaufträge bei gleichzeitiger Abnahme der individuellen Auftragsgröße. Um trotzdem flexibel und mit hoher Anlagenauslastung fertigen zu können, ist der Einsatz einer aktiven Fertigungssteuerung notwendig. Verbunden mit maximaler Integration der Anlagen bietet sich so die Möglichkeit einer transparenten und zeitlich optimierten Prozessierung der Aufträge. Der Beitrag beschreibt die Vorteile und die Funktionsprinzipien eines modularen und zeitgesteuerten MES (Manufacturing Execution System).