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Endoskopie

Endoskopische Messverfahren in der Mikrotechnik

Endoskopische Messverfahren in der Mikrotechnik

Erfassung filigraner Mikrogeometrien mithilfe faseroptischer Streifenprojektion
Christoph Ohrt, Markus Kästner, Eduard Reithmeier
Die Qualität und Geschwindigkeit in der Fertigung und Montage von Mikrosystemen hat in den letzen Jahren immense Fortschritte gemacht. Ausgereifte Mikro- und Nano-Rapidprototypingverfahren in Verbindung mit Replikationstechniken ermöglichen die Massenfertigung von hochpräzisen Mikrobauteilen. Für die Qualitätskontrolle solcher Bauteile wird eine ebenso schnelle wie genaue Messtechnik benötigt. Die diesbezüglichen guten Erfahrungen der makroskopischen Streifenprojektion sollen daher auf die Anforderungen der Mikrotechnik angepasst und optimiert werden. Ein Ansatz hierfür ist die endoskopische Streifenprojektion. Mit ihrer Hilfe wird es möglich, kleinste Messvolumina präzise und berührungsfrei dreidimensional zu erfassen und auszuwerten. Das Messprinzip und die Möglichkeiten werden anhand eines faserbasierten endoskopischen Streifenprojektionssystems aus dem, von der Deutschen Forschungsgemeinschaft geförderten, Sonderforschungsbereich Transregio 73 erläutert.
Industrie Management | 26. Jahrgang | 2010 | Ausgabe 6 | Seite 29-32
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