Zur effizienten Steuerung der Anlagen in der Halbleiterfertigung werden zunehmen ERP-Systeme eingesetzt. Deswegen wird zunächst der Stand der Technik einschließlich möglicher zukünftiger Entwicklungen diskutiert. Als Folge wird ein neuartiger Einsatz der SAP NetWeaver Plattform zur Ansteuerung von Halbleiter Fertigungsautomaten vorgeschlagen und seine Evaluierung sowie Erstellung eines Prototyps wird beschrieben.
