Präzise Detektion von Oberflächenfehlern im Mikrobereich

Eine zentrale Aufgabe der industriellen Bildverarbeitung ist die Erkennung von Oberflächen- und Formfehlern auf Bauteilen während der Produktion. Durch eine präzise und zuverlässige Fehlererkennung lässt sich auf Prozessveränderungen, wie bspw. Werkzeug- oder Materialverschleiß, rückfolgern, frühzeitig eingreifen und somit die Ausschussrate reduzieren. In vielen Bereichen, u.a. Wafer-Produktion, ist eine optische Kontrolle Stand der Technik. Allerdings wird in sehr vielen Fällen eine Bildverarbeitungsmethode realisiert, die sehr spezifisch auf das Problem zugeschnitten ist und für jedes neue Problem neu entwickelt wird. Dieser Beitrag stellt eine Bildverarbeitungsmethode vor, die einen ersten Schritt in Richtung universelle Fehlererkennung zeigt. Die Effizienz der Methode wird an einer Bilddatenbank sowie einer Anwendung in der Produktion und Qualitätsüberwachung von Mi-krobauteilen evaluiert.