Eine Methode zum Design von Mikroprozessketten

Im Bereich der Mikrofertigung spielt die exakte Abstimmung von Prozessparametern bei der Planung und der Konfiguration von Prozessketten eine besondere Rolle. Durch die Miniaturisierung von Werkstücken und Fertigungsanlagen werden immer geringere Toleranzen erforderlich. Zudem erschweren sogenannte Größeneffekte die Übertragung von Wissen aus der Makrofertigung auf den Mikrobereich. Viele Fertigungsprozesse und -technologien sind dabei im Mikrobereich so spezialisiert, dass ihre Eignung stark von den in der jeweiligen Prozesskette involvierten Komponenten und Produkten abhängt. Dieser Artikel präsentiert die Methode µ-ProPlAn, die Prozessplaner bei der Auswahl geeigneter Prozesse und Technologien sowie bei deren Konfiguration unterstützt.